簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="冗餘導通孔嵌入"


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    針對定向自組裝微影技術的引導樣板最佳化與冗餘導通孔嵌入
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 呂宜臻 指導教授: 方劭云
    • 在現代的科技蓬勃發展下,半導體製造進入了次10 奈米的技術節點,關鍵尺寸的微小化使得下一世代微影技術被迫切地需要,其中,團鏈共聚物定向自組裝微影技術已經證明其用於製作導通孔的可能性。除此之外,後佈局…
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